昨日上午9时30分，2021年“科学探究奖”第三届获奖名单发布，华中科技大学教授陈蓉获得“先进制作”类奖项。

　　本年共有50位青年科学家上榜。他们将在未来5年各获得由腾讯基金会赞助的300万元（税后）奖金。组委会称，陈蓉教授的获奖理由是：“必定她在原子制作的高精度定位、一致性和高效率方面获得的效果，支撑她在集成电路先进制程的原子标准协同制作方向进行探究。”

　　记者整理发现，该奖项发动的三届里，每一届都有武汉学者获奖，华中科技大学更是年年上榜。当天上午，本报记者连线华中科技大学教授陈蓉。

　　陈蓉曾在美国硅谷肄业和作业十多年，在2011年挑选回到家园武汉，进入华中科技大学。她告知记者，这个决定是源于心中从未断过的家国情结。

　　“作为湖北武汉人，回来祖国，回到我的家园武汉，有一种结壮的归属感和幸福感。”陈蓉说，武汉承载着中部地区兴起、长江中游城市群协同展开、国家自主立异演示区等严重战略使命。武汉作为国家科技立异中心，科教根底雄厚，华中科技大学机械科学与工程学院更有着共同的学科优势和办学风格，这让她坚决果断挑选“从硅谷回到光谷”。

　　回国后，陈蓉十分繁忙，但她欣喜于学生的前进，城市的前进。2011年回国时，国内在ALD制作上相对空白。参加华中科大机械学院后，她有了一群十分精干的学生，他们一同科研攻关，现在不只完结交叉学科交融的蜕变，构成自己的特征，更发生世界影响。

　　“比起美国老练的系统，我国是在加速器上，改变天天可见。让我特别骄傲的是，通过这些年的展开，咱们现已代表我国在世界标委会提出原子层堆积技能标准，并组织各个国家的专家一同推进。”

　　陈蓉教授的研讨方向是“挑选性原子层堆积技能”，她被看作是这项技能的开拓者。这种技能打破的是传统“自上而下”的光刻-刻蚀等减材战略，另辟蹊径以原子或分子为根本建立“积木”单元完结“自下而上”的方针结构制作，浅显地讲即是以原子或分子为“砖”来盖纳米结构的“大厦”。

　　全球原子层堆积技能首要用于集成电路制作，并拓宽到光伏、显现等半导体或泛半导体范畴以及航空航天、动力环保等新式范畴。根据原子层堆积技能的一系列原创效果，填补了国内技能空白，相关研讨与世界上处于齐头并进的态势。

　　陈蓉教授介绍，现在她的“挑选性原子层堆积技能”在发光显现等范畴现已获得演示使用，有望推进微纳制作范畴深层次革新，打破集成电路制作中的瓶颈技能，关于处理芯片制作的卡脖子难题，争夺和提高集成电路制作的世界竞争力和话语权，具有十分重要的含义。

　　陈蓉团队的科研作业受到了台积电、三星、IMEC等业界顶尖企业引证并高度评价：挑选性堆积办法被认为是先进节点中的使能技能。

　　“制作的中心和内在，是要服务支柱职业面向国家严重需求和国民经济主战场。”陈蓉教授介绍道，现在，他们的研讨作业有很大一部分与光电器材等紧密结合，这也是武汉光谷的重要工业。

　　陈蓉教授表明，光谷有一大批“芯屏网端”的高新技能企业和联盟，如国家三维集成立异中心、武汉新芯、华星光电、京东方等。在各级政府大力支撑下，高校展开根底研讨，企业展开技能孵化，有利于促进该技能赶快完结“产学研用”的转化，抢占科技展开制高点。

　　现在，课题组现已与国家三维集成立异中心和部分芯片、存储、显现职业等高新科技企业展开了相关的协作研讨。

　　这次获奖后的奖金会怎样用？陈蓉教授坦言，300万元奖金不算小数目，特别对青年科研作业者，这样的组织，关于青年科学家是充沛的信赖和鼓励。“抱负的科研状况，是可以面子的，心无旁骛地做自己最拿手、最有热情的立异，不用为了经费去奔走，不用为了日子而焦头烂额。我应该会使用奖金来支撑课题组立异创业，让咱们的研讨获得更大的打破。”

　　昨日上午9时30分，2021年“科学探究奖”第三届获奖名单发布，华中科技大学教授陈蓉获得“先进制作”类奖项。

　　本年共有50位青年科学家上榜。他们将在未来5年各获得由腾讯基金会赞助的300万元（税后）奖金。组委会称，陈蓉教授的获奖理由是：“必定她在原子制作的高精度定位、一致性和高效率方面获得的效果，支撑她在集成电路先进制程的原子标准协同制作方向进行探究。”

　　记者整理发现，该奖项发动的三届里，每一届都有武汉学者获奖，华中科技大学更是年年上榜。当天上午，本报记者连线华中科技大学教授陈蓉。

　　陈蓉曾在美国硅谷肄业和作业十多年，在2011年挑选回到家园武汉，进入华中科技大学。她告知记者，这个决定是源于心中从未断过的家国情结。

　　“作为湖北武汉人，回来祖国，回到我的家园武汉，有一种结壮的归属感和幸福感。”陈蓉说，武汉承载着中部地区兴起、长江中游城市群协同展开、国家自主立异演示区等严重战略使命。武汉作为国家科技立异中心，科教根底雄厚，华中科技大学机械科学与工程学院更有着共同的学科优势和办学风格，这让她坚决果断挑选“从硅谷回到光谷”。

　　回国后，陈蓉十分繁忙，但她欣喜于学生的前进，城市的前进。2011年回国时，国内在ALD制作上相对空白。参加华中科大机械学院后，她有了一群十分精干的学生，他们一同科研攻关，现在不只完结交叉学科交融的蜕变，构成自己的特征，更发生世界影响。

　　“比起美国老练的系统，我国是在加速器上，改变天天可见。让我特别骄傲的是，通过这些年的展开，咱们现已代表我国在世界标委会提出原子层堆积技能标准，并组织各个国家的专家一同推进。”

　　陈蓉教授的研讨方向是“挑选性原子层堆积技能”，她被看作是这项技能的开拓者。这种技能打破的是传统“自上而下”的光刻-刻蚀等减材战略，另辟蹊径以原子或分子为根本建立“积木”单元完结“自下而上”的方针结构制作，浅显地讲即是以原子或分子为“砖”来盖纳米结构的“大厦”。

　　全球原子层堆积技能首要用于集成电路制作，并拓宽到光伏、显现等半导体或泛半导体范畴以及航空航天、动力环保等新式范畴。根据原子层堆积技能的一系列原创效果，填补了国内技能空白，相关研讨与世界上处于齐头并进的态势。

　　陈蓉教授介绍，现在她的“挑选性原子层堆积技能”在发光显现等范畴现已获得演示使用，有望推进微纳制作范畴深层次革新，打破集成电路制作中的瓶颈技能，关于处理芯片制作的卡脖子难题，争夺和提高集成电路制作的世界竞争力和话语权，具有十分重要的含义。

　　陈蓉团队的科研作业受到了台积电、三星、IMEC等业界顶尖企业引证并高度评价：挑选性堆积办法被认为是先进节点中的使能技能。

　　“制作的中心和内在，是要服务支柱职业面向国家严重需求和国民经济主战场。”陈蓉教授介绍道，现在，他们的研讨作业有很大一部分与光电器材等紧密结合，这也是武汉光谷的重要工业。

　　陈蓉教授表明，光谷有一大批“芯屏网端”的高新技能企业和联盟，如国家三维集成立异中心、武汉新芯、华星光电、京东方等。在各级政府大力支撑下，高校展开根底研讨，企业展开技能孵化，有利于促进该技能赶快完结“产学研用”的转化，抢占科技展开制高点。

　　现在，课题组现已与国家三维集成立异中心和部分芯片、存储、显现职业等高新科技企业展开了相关的协作研讨。

　　这次获奖后的奖金会怎样用？陈蓉教授坦言，300万元奖金不算小数目，特别对青年科研作业者，这样的组织，关于青年科学家是充沛的信赖和鼓励。“抱负的科研状况，是可以面子的，心无旁骛地做自己最拿手、最有热情的立异，不用为了经费去奔走，不用为了日子而焦头烂额。我应该会使用奖金来支撑课题组立异创业，让咱们的研讨获得更大的打破。”

　　长 江 日 报 报 业 集 团 版 权 所 有 ，未 经 书 面 授 权 禁 止 使 用